1990, изд-во: Наука, город: М., стр. : 527 с., тир. 1520 экз., обложка: Издательский твердый переплет, формат: Обычный, состояние: Отличное. . Излагаются физические основы методов литографии, позволяющих получить структуры с субмикронными размерами. ...
отправка из Новосибирска. Код: кра42333