Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С. и др., Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов.
пер. с англ.

1984, изд-во: Радио и связь, город: М., стр. : 336 с. илл., обложка: Издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее. . Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблона и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии