1979, изд-во: Металлургия, город: М., стр. : 408 с., обложка: Издательский переплет, формат: Уменьшенный, состояние: Хорошее, не читана, помяты уголки. . Изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники. Дана классификация технологических процессов. Сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий. Особое внимание уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы воздействия электрических полей и излучений на некоторые из этих процессов. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.
Цена: 350 руб.
#15622189, код: кра43221
