Дюваль П., Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности

1992, изд-во: Мир, город: Москва, стр. : 262 с., обложка: Твердый издательский переплет, формат: Обычный, состояние: Очень хорошее (намечающийся разлом на развороте стр. 6 - 7). Небольшая по объему, но достаточно полная по охвату вакуумной тематики книга известного французского специалиста посвящена проблемам получения вакуума и его использования в производстве элементов микроэлектроники. В книге рассматриваются требования к вакууму, описываются различные типы вакуумных насосов, техника измерений и безопасности при использовании высоковакуумного оборудования. Для научных работников, инженеров-экспериментаторов и других специалистов, связанных с применением высоковакуумной техники